Опрос
Metal-organic chemical vapor deposition. Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы - метод эпитаксиального роста материалов путём термического разложения из органических газов, содержащих необходимые химические элементы. В отличие от молекулярно-лучевой эпитаксии рост происходит не в вакууме, а в присутствии газа при умеренном давлении (от 2 до 100 кПа).
